近現(xiàn)代接近傳感器制造工藝分類(lèi)
有四種接近傳感器,即集成傳感器、薄膜傳感器、厚膜傳感器和陶瓷傳感器。
1、集成傳感器
集成的傳感器生產(chǎn)工藝,以及生產(chǎn)的標(biāo)準(zhǔn)硅基半導(dǎo)體集成電路的過(guò)程基本上是相同的。通過(guò)集成的方法制造傳感器,它可以得到更小的體積和集成更多的功能,和集成的傳感器的一部分,可以有一部分的處理功能,處理測(cè)得的信號(hào)。
2、薄膜傳感器
薄膜傳感器的制備涉及到先進(jìn)的技術(shù),如納米技術(shù)、薄膜傳感器的制作方法是在介質(zhì)基板上,用感光材料來(lái)形成一層薄膜。薄膜傳感器也可用于生產(chǎn)的一些電路系統(tǒng),這需要使用混合技術(shù)。
3、厚膜傳感器
厚膜傳感器和薄膜傳感器是相應(yīng)的,并且在襯底上形成薄膜。不同的是,厚膜傳感器是在陶瓷制造的基板上,并與敏感材料的尺寸。厚膜傳感器的制造材料是鋁,經(jīng)過(guò)熱處理后形成的涂層,可以形成厚膜。
4、陶瓷傳感器
陶瓷傳感器新技術(shù)的應(yīng)用是傳統(tǒng)的材料,是使用,陶瓷傳感器,陶瓷材料是陶瓷,也被稱(chēng)為高技術(shù)陶瓷,陶瓷傳感器制造商主要依賴(lài)于標(biāo)準(zhǔn)的陶瓷技術(shù)或不同的溶膠,完成后的高溫?zé)Y(jié)成型元素的適當(dāng)?shù)牟僮鳒?zhǔn)備。
該傳感器的制造工藝與厚膜傳感器和陶瓷傳感器的制造工藝有著很大的相似性,因此可以理解為一種陶瓷傳感器制造過(guò)程的變形。目前還沒(méi)有明顯的優(yōu)勢(shì)和劣勢(shì),各種制造工藝的傳感器,每個(gè)制造工藝有其自身的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn),但目前的厚膜和陶瓷技術(shù)更廣泛地使用。
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